型号︰-
品牌︰ARGUS
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半导体侧泵激光划片机
型号规格
SDS50
激光波长
1064nm
划片精度
±10μm
划片线宽
≤50μm
激光重复频率
200Hz~50KHz
划片速度
140mm/s
激光功率
50W
工作台幅面
350mm×350mm
使用电源
380V(220V)/ 50Hz/ 3.5KVA
冷却方式
循环水冷
工作台
双气仓负压吸附,T型台双工作位交替工作