設備性能
SDF(SSF)系列激光刻膜機採用半導體泵浦激光器(或全固態激光器),光點固定不動,工作台帶動電池板兩維運動,或兩維分離,光點沿X軸運動,電池板沿Y軸運動,刻膜專用X-Y工作平台,伺服驅動、滾珠絲杠與導軌傳動,或X軸直線電機驅動,通過界面友好的專用控制軟件,方便刻膜路徑的編輯和修改,利用分光系統,同時完成兩路或四路激光同步輸出。
應用領域
薄膜太陽電池TCO膜、a-Si膜(μc-Si膜)、Al膜(ZnO膜)的刻膜或劃線。
主要技術參數
型號規格 |
SDF50B |
SDF10D |
SSF10B |
SSF5D |
激光波長 |
1064nm |
532nm |
1064nm |
532nm |
激光功率 |
50W |
10W |
10W |
5W |
激光重複頻率 |
200Hz~50kHz |
1kHz~100kHz |
||
刻膜線寬 |
80μm |
50μm |
||
刻膜速度 |
200mm/s |
600mm/s |
||
刻膜精度 |
±10μm |
±10μm |
||
工作台幅面 |
1250×640mm 或 1100×1400mm |
|||
冷卻方式 |
恆溫水冷 |
風冷 |