型号规格
SDS50
激光波长
1064nm
划片精度
±10μm
划片线宽
≤50μm
激光重复频率
200Hz～50KHz
划片速度
140mm/s
激光功率
50W
工作台幅面
350mm×350mm
使用电源
380V（220V）/ 50Hz/ 3.5KVA
冷却方式
循环水冷
工作台
双气仓负压吸附，T型台双工作位交替工作
